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本实用新型公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安...
该专利属于南京原磊纳米材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京原磊纳米材料有限公司授权不得商用。

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