温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，包括具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。