下载一种两旋转自由度同步控制精密转台装置及误差补偿方法的技术资料

文档序号:38162761

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本发明公开了一种两旋转自由度同步控制精密转台装置及误差补偿方法,属于精密测量技术及仪器技术领域。装置由X轴旋转控制单元Ⅰ、Y轴旋转控制单元Ⅱ、位姿测控单元Ⅲ三部分组成,X轴和Y轴旋转控制单元相互独立,可实现两自由度旋转量同步的精确控制,位姿...
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