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一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关制造技术
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文档序号:38156961
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本发明属于射频MEMS技术领域,具体涉及一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关,包括衬底、微波传输线、开关组件、空气桥,所述微波传输线设置在衬底上,所述微波传输线包括输入信号线、功分器、输出信号线和地线,所述输入信号线设置有一条,所述输出信号...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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