下载一种碳化硅外延设备及加热控制方法的技术资料

文档序号:38156948

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种碳化硅外延设备及加热控制方法,该加热控制方法包括:基于温度检测单元采样温度信息并反馈至数据处理单元,数据处理单元基于接收的温度信息经预设的算法运算生成第一指令并反馈至温度控制单元,温度控制单元基于接收的第一指令计算出匹配对应的...
该专利属于芯三代半导体科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯三代半导体科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。