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本发明提出一种静电微电机包括转子和定子。转子包括一段薄壁圆柱和一段空心圆柱，转子的材料为金属。转子与定子同轴并包覆定子，二者之间具有空气层。定子包括大于两个的偶数个互相绝缘的金属导体，这些金属导体以定子的轴线为中心对称。定子的外表面具有电介...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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