下载一种半导体芯片晶圆切割机及其使用方法的技术资料

文档序号:38146079

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本发明属于半导体芯片技术领域,公开了一种半导体芯片晶圆切割机,包括切割主体和置件主体,所述切割主体包括主刀座,所述主刀座安装有主切割轮,所述主刀座滑动安装有副刀座,所述副刀座安装有辅切割轮,所述主刀座安装有输出端与所述副刀座连接的第一伸缩缸...
该专利属于苏州中瑞宏芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州中瑞宏芯半导体有限公司授权不得商用。

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