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一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备技术方案
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文档序号:38143410
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本发明涉及电子束加工技术领域,提供了一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备,至少包括:真空腔室,适于为通过的电子束提供真空环境;至少一个第一节流气阻,设置在真空腔室内且位于电子束的束腰位置,第一节流气阻具有沿电子束的照射方向设置的缩孔...
该专利属于中国科学院电工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。
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