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本发明公开了一种基板气浮平台控制方法及系统，属于新型显示技术领域。本发明考虑到了对于大面积基板气浮支撑系统，需要进行精度的检测、控制和监控，才能保证基板气浮连续运行的精度。因此考虑到了利用激光位移传感器和力锤进行激励和信号采集，通过数据处理...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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