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本发明涉及溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备：背板；靶材，其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域；和接合层，其通过所述背板与所述靶材之间的接合材料而形成，其中，所述...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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