下载一种提效降本的单晶炉自动化逻辑工艺方法的技术资料

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本发明公开了一种提效降本的单晶炉自动化逻辑工艺方法,依次包括基于PLC控制的拆清、炉盖旋开、主室旋开、主室旋回、装料、合炉盖、主室提升、主室下降、主室爪抓取和副室下降一系列步骤。本发明的优点在于可以更迅速地落实自动化系统,减少单晶炉在机械运...
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