下载真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法的技术资料

文档序号:38136670

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本申请公开一种真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法,涉及真空镀膜技术领域。真空蒸镀成膜装置包括发射机构、盛放机构和偏转聚焦机构。发射机构包括灯丝和具有容纳槽的盖板,容纳槽具有底面、开口和侧面;开口的轮廓在底面所在平面上的投影位于底面之外,...
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