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真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法制造方法及图纸
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下载真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法的技术资料
文档序号:38136670
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本申请公开一种真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法,涉及真空镀膜技术领域。真空蒸镀成膜装置包括发射机构、盛放机构和偏转聚焦机构。发射机构包括灯丝和具有容纳槽的盖板,容纳槽具有底面、开口和侧面;开口的轮廓在底面所在平面上的投影位于底面之外,...
该专利属于安徽其芒光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽其芒光电科技有限公司授权不得商用。
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