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一种铜锑硒太阳能电池光吸收层的双源共蒸发制备方法技术
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下载一种铜锑硒太阳能电池光吸收层的双源共蒸发制备方法的技术资料
文档序号:38130471
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本发明公开了一种铜锑硒太阳能电池光吸收层的双源共蒸发制备方法,属于铜锑硒太阳能电池技术领域。操作步骤如下:在多源热蒸发镀膜系统的真空腔室中,采用两个阶段的共蒸发镀膜;第一阶段,将硒化亚铜的束源炉、硒化锑的束源炉和镀钼玻璃升温,并保持恒定,使...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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