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本发明公开了一种非接触式三维测振传感器系统，包括呈三角形设置的三个光芯片测量模块；光路偏折单元，用于将三束相互平行的测量激光偏折至被测物体上同一点，且该点位于所述中心轴上；计算单元，用于根据所述三个光芯片测量模块分别测量得到的位移值计算被测...
该专利属于挚感（苏州）光子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过挚感（苏州）光子科技有限公司授权不得商用。

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