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本公开提供了一种真空取样机构及真空处理系统，真空取样机构包括：细长真空腔；取样组件，设置在细长真空腔外，取样组件包括第一取样爪和与第一取样爪相配合的第二取样爪，第一取样爪和第二取样爪能够张开或闭合以进行取样；以及取样驱动轴，取样驱动轴的近端...
该专利属于费勉仪器科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技（上海）有限公司授权不得商用。

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