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一种WOx基电阻型存储器及其制备方法技术
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文档序号:3810865
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本发明属于微电子技术领域,涉及金属氧化物不挥发存储器技术,具体涉及一种WOx基电阻型存储器及其制备方法,该WOx基电阻型存储器包括上电极、钨下电极、以及设置在上电极和钨下电极之间的WOx基存储介质,所述WOx基存储介质是通过对覆盖在钨下电极...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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