下载一种WOx基电阻型存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:3810865

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于微电子技术领域,涉及金属氧化物不挥发存储器技术,具体涉及一种WOx基电阻型存储器及其制备方法,该WOx基电阻型存储器包括上电极、钨下电极、以及设置在上电极和钨下电极之间的WOx基存储介质,所述WOx基存储介质是通过对覆盖在钨下电极...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。