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本发明公开了一种可实现溅射工艺的六维力传感器申字梁弹性体结构，包括主梁、第一浮动梁、第二浮动梁、方角和应变片；将24个应变片溅射在主梁和第一浮动梁上，形成多组惠斯通电桥，当某一维度的输入力/力矩作用于申字梁弹性体中心，使得传感器产生形变，相...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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