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双稳态压电元件的成型方法及压电能量收集器技术
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文档序号:38102751
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本发明涉及一种双稳态压电元件的成型方法及压电能量收集器,采用皮秒激光方式切割压电层和雕刻电极能够最大程度的减少压电层电极的丢失,同时采用纳秒激光方式切割金属基层形成压电梁和支撑梁,同时压电梁和支撑梁因纳秒激光热处理产生的残余应力下产生分布均...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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