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本发明涉及一种用于活化结构(1)的暴露层(10)的方法，包括提供包括暴露层(10)的结构(1)和在提供所述结构(1)之前或之后在所述反应室中沉积基于化学式C
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该专利属于法国原子能源和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过法国原子能源和替代能源委员会授权不得商用。

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