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本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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