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用于清洁衬底的背面的清洁装置可以包括：外壳；静电卡盘，被设置在所述外壳中，其中衬底被放置在静电卡盘上；至少一个吸附构件，被配置为将衬底放置在静电卡盘上；驱动构件，被配置为旋转静电卡盘；循环构件，被耦接至驱动构件，并且被配置为形成循环气流以防...
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