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一种抛光组合物包括阴离子磨料、pH调节剂、低k移除速率抑制剂、钌移除速率增强剂及水。一种抛光基材的方法包括以下步骤：将本文所述的抛光组合物施加至基材的表面，其中该表面包含钌或硬掩膜材料；及使垫与该基材的该表面接触，并相对于该基材移动该垫。并...
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