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一种热式柔性流量传感器及其制备方法技术
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文档序号:38090686
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本发明公开了一种热式柔性流量传感器及其制备方法,包括柔性基底、导电电路、敏感层以及隔热器件,所述导电电路、敏感层均处于柔性基底的一面上,所述的敏感层为金属材料或半导体材料,所述隔热器件盖在柔性基底面上用于减少外界对所述导电电路和敏感层的影响...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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