下载一种共源共栅型氮化镓器件及其制备方法、芯片的技术资料

文档序号:38090002

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本申请属于半导体技术领域,提供了一种共源共栅型氮化镓器件及其制备方法、芯片,通过在P型半导体衬底上形成第一N型重掺杂区、第二N型重掺杂区、P型重掺杂区、源极金属层、接触金属层、隔离层以及第一栅极金属层,进而形成MOS器件,由接触金属层、漏极...
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