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母端口及具有母端口的用于处理基板的装置制造方法及图纸
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下载母端口及具有母端口的用于处理基板的装置的技术资料
文档序号:38086410
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提供一种用于处理基板的装置。根据示例性实施方式的基板处理装置可以包括:支承单元,该支承单元支承基板;处理容器,该处理容器覆盖该支承单元的外侧;液体供应单元,该液体供应单元包括将液体喷射至支承在该支承单元上的基板的喷嘴;母端口,该母端口定位在...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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