下载一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构的技术资料

文档序号:38075616

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本发明属于半球谐振陀螺技术领域,具体涉及一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构;包括:球环基座和叉指电极金属层;叉指电极金属层包裹在球环基座的外球面上;球环基座的底部开设有槽型缺口,槽型缺口表面镀有金属膜层,且槽型缺口平面与侧面的金属膜层断...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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