下载高静电防护能力的分离栅MOSFET器件的技术资料

文档序号:38075529

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本实用新型提供一种高静电防护能力的分离栅MOSFET器件,包括:重掺杂的第一导电类型硅衬底,在硅衬底上设有第一导电类型外延层;第一导电类型外延层背离硅衬底的表面为第一主面,硅衬底背离第一导电类型外延层的表面为第二主面;在第一导电类型外延层中...
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