下载单晶炉及其操作方法的技术资料

文档序号:38074976

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本申请涉及一种单晶炉及其操作方法。本申请部分实施例提供了一种单晶炉,其包括:加热器及坩埚,其中所述加热器包含电子枪加热器;及所述坩埚包含阻隔件,所述阻隔件经配置将所述坩埚的内侧空间至少划分为加料区域及晶体生长区域,其中所述电子枪加热器经配置...
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