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本实用新型提供一种测试平台,包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板,所述第一转接板与所述测试机台电连接,被测晶圆与所述探针机台电连接,所述第二转接板与所述探针机台电连接,同时,所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接,使得所述测...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种测试平台,包括测试机台、探针机台、第一转接板和第二转接板,所述第一转接板与所述测试机台电连接,被测晶圆与所述探针机台电连接,所述第二转接板与所述探针机台电连接,同时,所述第一转接板与所述第二转接板可插拔的电连接,使得所述测...