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本实用新型提供一种硅片检测装置，包括：基座；固定座，所述固定座安装在所述基座上；接近开关，所述接近开关可拆卸安装在所述固定座的顶部；感应组件，所述感应组件的上部可上下滑动地设于所述基座和所述固定座的内部，以便所述感应组件的上部接触所述接近开...
该专利属于晶海洋半导体材料（东海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶海洋半导体材料（东海）有限公司授权不得商用。

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