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一种包含多种光源下的可变微结构的激光诱导石墨烯加工工艺制造技术
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下载一种包含多种光源下的可变微结构的激光诱导石墨烯加工工艺的技术资料
文档序号:38051219
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本发明公开了一种包含多种光源下的可变微结构的激光诱导石墨烯加工工艺,此工艺根据聚酰亚胺薄膜对不同波长光源的透光率不同的特点,结合深紫外光对薄膜表面改性处理,实现在薄膜正面、背面抑或是双面诱导石墨烯。同时根据不同功率密度激光可在聚酰亚胺表面诱...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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