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本实用新型公开了一种传感器标定装置,包括气体流量控制器、密封检测箱和上位机,所述气体流量控制器分别连通有第一气体进气管和第二气体进气管,所述气体流量控制器与密封检测箱通过送气管连通,所述密封检测箱内设有标准传感器和待测试传感器,所述密封检测...该专利属于汉希科特半导体技术(平湖)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过汉希科特半导体技术(平湖)有限公司授权不得商用。
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