下载一种导模法生长氧化镓单晶的装置及方法的技术资料

文档序号:38022216

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本发明提出了一种导模法生长氧化镓单晶的装置,包括铱发热体、铱坩埚和籽晶杆,所述铱坩埚内设有铱模具,所述籽晶杆的顶端设有旋转提拉组件和拉力传感器;铱发热体外侧的保温层设有第一通道,第一通道外侧设有激光器,激光器产生的激光聚焦在铱模具顶面的固液...
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