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多晶硅冷氢化催化剂回收分离设备以及多晶硅生产系统技术方案
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文档序号:38017349
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本发明公开了一种多晶硅冷氢化催化剂回收分离设备,包括回收分离器,回收分离器包括主管道、第一回收支管以及回收磁体,主管道包括水平管段和与水平管段连通的竖直管段,水平管段的端口连接流化床反应器的出气口,竖直管段的底部端口作为四氯化硅气体的出口,...
该专利属于新特硅基新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特硅基新材料有限公司授权不得商用。
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