温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于超表面光栅的纳米级二维位移测量装置及方法，包括光源模块、超表面光栅、反射模块和探测模块；所述的超表面光栅作用是将光源模块产生的左旋或右旋圆偏振光分至不同衍射级；通过反射模块使得入射光两次经过超表面光栅调控，其出射光的两个...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。