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一种晶棒切片机、晶棒切割系统及其上下料方法技术方案
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下载一种晶棒切片机、晶棒切割系统及其上下料方法的技术资料
文档序号:38013363
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本发明涉及一种晶棒切片机、晶棒切割系统及其上下料方法,包括架体、切割轴和抱夹装置,所述架体内设置有切割室和进料通道,所述切割室位于所述进料通道的前侧,所述切割室的后侧侧壁上开设有进料口,所述进料通道的后端连通至所述架体外侧,所述进料通道的前...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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