下载光电子器件的对准方法及耦合方法的技术资料

文档序号:38009544

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本发明提供一种光电子器件的对准方法及耦合方法,其光电子器件的对准方法包括:平面对准步骤,调整斜切面在平行于感光面的平面内位置,使斜切面处于感光面的法向上方;间距对准步骤,在芯片的侧方倾斜放置反射镜,通过图像装置的采集的由反射镜反射的芯片处的...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十三研究所授权不得商用。

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