下载一种多晶硅生产用还原炉及还原方法的技术资料

文档序号:38000255

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本发明公开了一种多晶硅生产用还原炉及还原方法,属于多晶硅生产设备技术领域,支撑架上设提升组件,底盘上设电极和硅芯棒,硅芯棒位于炉体与底盘构成的第一腔体中,第一连接盘上设清理组件,第二过滤网、固定壳体与第二连接盘构成的第二腔体,第一连接轴上设...
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