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本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法，所述金属氧化物薄膜晶体管的有源层上依次设置有沟道保护层和牺牲层；所述牺牲层为非晶形态的氧化物薄膜、氮化物薄膜、氮氧化物薄膜、氟化物薄膜或硫化物薄膜中的任意一种或至少两种的组合；制备方法中有源层...
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