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本发明属于晶圆研磨领域，具体为一种晶圆研磨机构，包括装置外壳，所述装置外壳的顶端面上安装固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端连接有连接轴，所述连接轴上固定连接有第一圆形齿轮和连接推板，所述第一圆形齿轮上啮合连接有第二圆形齿轮，所述装...
该专利属于上海东煦电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海东煦电子科技有限公司授权不得商用。

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