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垂直耦合芯片式拉曼光谱仪制造技术
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下载垂直耦合芯片式拉曼光谱仪的技术资料
文档序号:37998046
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本发明提供一种垂直耦合芯片式拉曼光谱仪,包括:由外向内依次嵌套的多个拉曼光谱仪单元形成的拉曼光谱仪芯片和图像传感器芯片封装在一起的封装体,以及与封装体机械连接的复合抛物面聚光镜及透镜;拉曼光谱仪单元包括耦入光栅,与耦入光栅的一端依次连接的第...
该专利属于上海近观科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海近观科技有限责任公司授权不得商用。
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