下载一种发光芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:37995164

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本发明涉及一种发光芯片及其制作方法,属于半导体器件技术领域。所述发光芯片依次包括衬底、连接第一电极的第一半导体层、光提取层、有源层和连接第二电极的第二半导体层;衬底中掺杂有铝,且衬底中铝的含量向生长侧递增;光提取层为氮化铝层,其靠近有源层一...
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