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二维材料自动生长转移系统及方法技术方案
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文档序号:37992454
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本发明公开了一种二维材料自动生长转移系统及方法,涉及晶体材料生长技术领域,该系统包括:真空封管机;高温等离子烧结装置;装有原材料的石英管;高温炉;取管装置,用于将烧结封管完毕的石英管转移至高温炉进行加温生长;分离胶条;第一取料机器人,用于将...
该专利属于武汉是维光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉是维光电科技有限公司授权不得商用。
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