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本发明公开了一种电注入混合腔DFB激光器及其制作方法,其外延结构沿激光器腔长方向包括相移区和有源区,腔长方向的一端为反射端面,其中相移区靠近反射端面;有源区的外延结构包括有源层和光栅;相移区的外延结构不包括有源层和光栅,包括无源波导层,无源...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种电注入混合腔DFB激光器及其制作方法,其外延结构沿激光器腔长方向包括相移区和有源区,腔长方向的一端为反射端面,其中相移区靠近反射端面;有源区的外延结构包括有源层和光栅;相移区的外延结构不包括有源层和光栅,包括无源波导层,无源...