下载一种能散补偿器的技术资料

文档序号:37990909

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本发明提供一种能散补偿器,包括:真空结构体,其内腔设有上褶皱板和下褶皱板,其提供真空环境;机械结构,其承载真空结构体,具有与上褶皱板和下褶皱板连接的传动机构,传动结构包括在真空结构体的靠近入口端的上部和下部分别安装的入口上、入口下梁传动机构...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

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