下载具有连接源极的场板的晶体管的技术资料

文档序号:37990271

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通过使用多个电介质层来优化场效应晶体管中的场板的放置,使得场板的第一末端通过第一组一个或多个不同电介质材料层与所述晶体管的沟道区分隔开。所述场板的第二末端覆盖在所述沟道区和控制电极上,通过所述第一组电介质层和一个或多个额外电介质层与所述控制...
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