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一种氟铒共掺氧化锡薄膜及其制备方法和应用技术
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文档序号:37989939
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本发明公开了一种氟铒共掺氧化锡薄膜及其制备方法和在近红外电致发光领域中的应用。制备方法包括:在真空下,通入氩气和氧气混合气,利用射频磁控溅射方法对掺氟氧化锡靶和氧化铒靶进行共溅射沉积薄膜;掺氟氧化锡靶中氟化亚锡的质量百分占比不大于20%;在...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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