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本发明涉及一种利用无衍射光学晶格测量高深宽比沟槽微结构的光学系统，包括照明系统和探测系统两部分组成。其照明系统的特点在于利用空间光调制器模拟正多棱锥器件产生无衍射光学晶格，其光场横向分布具有周期性点阵列特点，轴向传播类贝塞尔光束聚焦特性，拥...
该专利属于南开大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学授权不得商用。

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