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自动转移生长的高温等离子真空封管系统及方法技术方案
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文档序号:37986814
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本发明公开了一种自动转移生长的高温等离子真空封管系统及方法,涉及晶体材料生长技术领域,该系统包括:真空封管机;高温等离子烧结装置;多个装载有原材料的石英管;升降驱动机构;旋转驱动机构;连接臂,其一端设置于旋转驱动机构上,另一端设有转移机构;...
该专利属于武汉是维光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉是维光电科技有限公司授权不得商用。
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