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用于使设备脱气的装置和方法以及用于气体分析的对应测试系统制造方法及图纸
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下载用于使设备脱气的装置和方法以及用于气体分析的对应测试系统的技术资料
文档序号:37985816
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为了使设备(7)脱气,提供了一种装置(10),该装置包括控制单元(19)、泵(3)、第一体积(1)、第二体积(2)、第一阀(12)和第二阀(13)。在排出端,所述泵(3)连接到所述第一体积(1),在吸入端,所述泵(3)通过所述第二阀(13)...
该专利属于欧米克朗电子仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过欧米克朗电子仪器有限公司授权不得商用。
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